真空抽气机组的主泵通常为扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛升华泵、低温冷凝泵等,这些泵不能直接对大气工作,因此需要配置预抽泵和前级泵、有些扩散泵还配有前级维持泵或贮气罐,以防止系统内的气压波动,改善机组的抽气性能。特别适用于变压器的抽空作业。此外,还用于真空冶炼、焊接、化工制药、真空镀膜、电子元器件等行业的抽真空。
选择真空抽气机组需要考虑哪些因素?
1、正确地选择工作点,每种泵都有一定的工作压强范围,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线)。因而泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜。
2、在工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
3、正确地组合,由于真空抽气机组有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空抽气机组不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空抽气机组出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
4、真空设备对油污染的要求,若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
5、工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
一定按照自身具备的条件和要求来选择真空抽气机组,否则既浪费钱,还将耽误工作进度。